當工件加熱面積較大、電源功率較小時，常采用掃描淬火法。此時，計算加熱面積是指感應圈所包容的區(qū)域。相同功率密度，所需電源功率較小，設備投資費用低，適用于小批量生產(chǎn)。典型例子為大直徑活塞桿、瓦楞輥、軋輥、輸油管、抽油桿、鋼軌、機床導軌等均采用高頻淬火機進行掃描淬火。

(1)帶臺階的軸掃描淬火 帶臺階的軸曾被舊工藝規(guī)定為近臺階處淬硬層可以中斷，甚至在一些機械設計手冊中進行示例。從軸的小徑到大徑允許有硬度遞減區(qū)（即過渡區(qū)）。硬度遞減區(qū)的寬度和兩個直徑之差有關。

若采用高頻淬火機按規(guī)定數(shù)值進行表面淬火后，對質(zhì)量有影響時，則應改變設計結(jié)構(gòu)，因高頻感應圈本身有一定寬度，故淬火時不能淬硬到凸肩根部。

此種工藝的難點，由于矩形管軸向電流加熱法的應用，使軸向電流流過臺階處而解決。用掃描法采用斜包形感應器時，由于在工件上感應的渦流也是斜包形，既通過臺階的小直徑，同時通過臺階的大直徑，因此，臺階處的淬硬層在臺階相差不大時，可以連接起來。

(2)掃描與一次加熱兩種工藝相結(jié)合的淬火法 對于凸輪軸，當凸輪寬度與軸頸寬度相差甚大時，一般采用雙工位法，兩種感應器各加熱凸輪與軸頸；但也有一種方法，即采用寬度與凸輪寬度相適合的感應器，除一次加熱法加熱凸輪外，又可用掃描法進行軸頸的淬火。一次淬火與掃描合用的感應器有兩個淬火液進水管頭。