與普通熱處理相似，工件經(jīng)超音頻淬火機淬火后必須進行回火，通常進行低溫回火處理，在生產(chǎn)中常采用感應(yīng)回火、爐內(nèi)回火和自行回火三種方式。

1、感應(yīng)回火 將已淬火的零件重新通過感應(yīng)加熱達到回火的目的，即零件經(jīng)感應(yīng)器加熱和噴射冷卻后，應(yīng)立即進行感應(yīng)加熱回火，由于加熱時間短，顯微組織有大的彌散度，可獲得高的耐磨性和較高的沖擊韌性等，特別適用于連續(xù)加熱淬火的軸類、套類等零件的回火，加熱速度控制在15-20℃/s為宜，需要注意的是，一般回火溫度要高于爐內(nèi)回火溫度。

2、爐內(nèi)回火 零件經(jīng)超音頻淬火機淬火后，在井式爐、油爐或其他設(shè)備中進行回火，回火溫度應(yīng)根據(jù)要求的硬度和性能來確定，根據(jù)鋼號及硬度要求選擇回火溫度和時間，作為高碳鋼刀具和量具，中碳鋼或中碳合金鋼的齒輪和花鍵軸、合金鑄鐵凸輪軸等零件，需要較低的淬火冷卻速度，往往采用在油或水中浸沉冷卻方式。回火后零件的硬度稍有下降，其目的是減少內(nèi)應(yīng)力，防止或減少零件的變形和開裂。

3、自行回火 噴射或浸沉冷卻后停止冷卻，利用淬火工件淬火后內(nèi)部存在的熱量，使淬火區(qū)再次回升到一定的溫度，達到回火的要求，其溫度應(yīng)比爐內(nèi)回火溫度高。一般零件在冷卻3-10s內(nèi)表面有較高的溫度，作為自行回火的時間，大型零件為6s、小型為40s即可完成自行回火。