高速鋼工具在真空爐中進(jìn)行熱處理畸形變小，表面光潔，無氧化脫碳，車間工作環(huán)境好，采用微機(jī)控制可減少手工操作，工藝重復(fù)性好。高壓氣淬真空爐在國外正在取代鹽浴爐，逐步成為告訴鋼熱處理的主要設(shè)備。高壓氣淬真空爐的缺點(diǎn)是一次性投資大，消耗高純氧，要有高純氮氧源或有制氮設(shè)備。對實(shí)際生產(chǎn)的成本合算，真空淬火并不比鹽浴爐淬火成本高。

工件在真空中加熱只靠輻射傳熱，加熱速度比鹽浴爐慢得多，必須采用多段予熱，長時間保溫?？刹捎?-4段予熱，4段予熱的溫度可選用700、800、1050、1150攝氏度。加熱系數(shù)可以延長到40-60s/mm。在裝爐量不太大時可以采用接近或稍低于鹽浴爐中的淬火加熱溫度，例如W6MoCrV2鋼可采用1200-1220攝氏度。在裝爐量較大時，應(yīng)注意到爐中心部位的工件被遮擋，熱量輻射不到，即形成“陰影”，造成較大的溫差，因此適當(dāng)延長淬火加熱保溫時間。

高速鋼工具在真空爐中淬火的冷卻方式，現(xiàn)在大都采用高純氮?dú)饫鋮s。油冷已較少采用，這是由于在真空中高溫加熱后高速鋼工件表面處于活化狀態(tài)，浸入油中會發(fā)生瞬時滲碳現(xiàn)象，高速鋼表面形成5-50um的白亮層（其中存在大量殘留奧氏體），降低工具的使用壽命。

采用高純氮作為冷卻介質(zhì)時，隨著爐內(nèi)氣體壓力的增大，其冷卻能力增加。真空加熱后采用常壓氮?dú)饫鋮s時冷卻速度很小，只適用于尺寸很小或紅硬性要求不高的高速鋼工具的淬火。常壓氣淬的工具畸變小，韌性好。但由于冷卻速度不夠快，冷卻過程中有碳化物自鋼的基體中析出，因此鋼的硬度和紅硬性顯著下降。

采用0.2MPa的壓力真空淬火時，高速鋼工具的尺寸也不能太大，否則也會產(chǎn)生硬度和紅硬性下降的現(xiàn)象。采用0.50.2MPa的壓力真空淬火時，高速鋼工具的淬硬尺寸可達(dá)100mm,接近鹽浴分級淬火的冷卻能力。也有的真空爐不增加或減少增加冷卻氣體的壓力，而是增加氣體的流量，這樣也可以同樣達(dá)到高速冷卻的效果。高速鋼在真空爐中淬火時容易產(chǎn)生混晶現(xiàn)象，即晶粒尺寸相差懸殊。有時也會因冷速不足而產(chǎn)生碳化物析出，造成硬度和紅硬性不足的現(xiàn)象。工件表面脫元素也是高速鋼真空淬火時容易產(chǎn)生的表面缺陷。